| 8486203920 |
制造半导体器件或集成电路用的氟化氪（ KrF ）光刻机（步进式除外） |
13% |
台 / 千克 |
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| 8486203930 |
制造半导体器件或集成电路用的氟化氩（ ArF ）光刻机（步进式除外） |
13% |
台 / 千克 |
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| 8486203940 |
制造半导体器件或集成电路用的氟化氩浸没式（ ArFi ）光刻机（步进式除外） |
13% |
台 / 千克 |
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| 8486203950 |
制造半导体器件或集成电路用的极紫外（ EUV ）光刻机（步进式除外） |
13% |
台 / 千克 |
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| 8486203990 |
未列名制造半导体器件或集成电路用的光刻设备 |
13% |
台 / 千克 |
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| 8486204100 |
制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机 |
13% |
台 / 千克 |
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| 8486204900 |
其他制造半导体器件或集成电路用刻蚀及剥离设备 |
13% |
台 / 千克 |
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| 8486205000 |
制造半导体器件或集成电路用离子注入机 |
13% |
台 / 千克 |
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| 8486209000 |
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置 |
13% |
台 / 千克 |
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| 8486301000 |
制造平板显示器用扩散、氧化、退火及其他热处理设备 |
13% |
台 / 千克 |
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| 8486302100 |
制造平板显示器用化学气相沉积装置(CVD) |
13% |
台 / 千克 |
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| 8486302200 |
制造平板显示器用物理气相沉积装置(PVD) |
13% |
台 / 千克 |
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| 8486302900 |
其他制造平板显示器用薄膜沉积设备 |
13% |
台 / 千克 |
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| 8486303100 |
制造平板显示器用分步重复光刻机 |
13% |
台 / 千克 |
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| 8486303900 |
其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置 |
13% |
台 / 千克 |
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